行进中国丨淮河水 蚌埠芯

5月30日，第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会在安徽蚌埠开幕。走进位于蚌埠经开区的“中国传感谷”展厅，仿佛踏入一个能“读心”的未来世界。

脚步刚落，灯光依次亮起，空调悄然调至舒适温度。展台上，一面看似普通的镜子，因搭载了触摸、视觉、红外等多种传感器，能迅速采集面部数据，化身专业的“美妆顾问”。赋予这些寻常之物“灵性”的，正是一颗颗“蚌埠造”的智能芯片。

这些“蚌埠芯”，正汇聚成淮河畔一座崭新的“传感谷”，让这座老工业基地在新征程上重新“感知”世界。

俯瞰位于蚌埠经开区的“中国传感谷”。陈昂摄

走“芯”

从展厅的智慧体验回溯产业源头，蚌埠发展智能传感产业，不是凭空起高楼，而是吃透了“老本”。

很多人不知道，蚌埠是国内传感器研发制造的老牌基地。20世纪90年代，依托中国兵器工业第二一四研究所等大院大所，利用微机电系统技术研发惯性导航器件，积累了深厚家底。

在此基础上，蚌埠顺势提出“一谷三园多址”布局，全力打造“中国传感谷”。省级层面专门出台支持政策2.0版，单个项目最高可获超亿元支持;市级层面更是拿出真金白银，组建总规模超70亿元的产业基金。

2017年起，蚌埠连续举办MEMS智能传感器产业生态发展大会，到今年已是第八届。安徽北方微电子研究院集团有限公司副总经理吕东锋从第一届开始全程参与，他告诉记者：“最大的感受是，终于实现了从‘单打独斗’到‘生态共建’的历史性跨越。”

在他看来，正是在这一行业盛会的持续催化下，创新要素加速汇聚蚌埠。从材料、设计到晶圆制造、封装测试、终端应用，一条完整的产业链在淮河畔迅速生长。

据统计，截至2025年底，“中国传感谷”已集聚企业200余家，产值突破100亿元，同比增长29%，位列全国十大高质量传感器园区第六位。

“中国传感谷”展示的晶圆。人民网记者 苗子健摄

用“芯”

如果说蚌埠的工业积淀是产业发展沃土，那么安徽华鑫微纳集成电路有限公司(以下简称“华鑫微纳”)就是破土而出的标杆，代表着蚌埠智能传感产业的“高精尖”。

走进华鑫微纳的洁净车间，透过宽大的观察窗，能看到天车系统如“空中舞者”般精准穿梭，把晶圆送到一道道工序上。“这就是国内首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线，几乎不用人插手。”该公司副总经理丁敬秀话语里透着自豪。目前，这条产线月产已达1万片，正全力向3万片迈进。

更硬核的是技术突破。华鑫微纳攻克了光MEMS阵列微镜整套工艺，成为国内唯一的研制单位。这一成果，直接解决了国家高端装备领域的“卡脖子”难题。

正是这一项项突破，让更多企业有了用“芯”的底气。如今华鑫微纳吸引了200多家上下游企业，蚌埠并以此为基础，正前瞻布局脑机接口、具身智能等未来产业，把创新优势转化为产业胜势。

第八届MEMS智能传感器产业生态发展大会上，异质异构集成微系统全国重点实验室正式揭牌。人民网记者 周坤摄

今年大会开幕式上，一个重磅环节让在场许多科研人员激动不已：异质异构集成微系统全国重点实验室正式揭牌。同时发布三套原创工艺技术和七款产品，搭建了自主可控的技术与产业体系。

“这是继华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线之后，又一项为蚌埠智能传感产业提供基础支撑的国家级战略科技平台。”参会专家、九三学社中央科技委副主任郭源生说。

智能传感应用在脑机接口设备。人民网记者 周坤摄

专“芯”

全国首条脑机接口柔性电机线、全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首个量产导航级MEMS惯性传感器研制基地、全国最大的磁传感器生产基地……

说起如今蚌埠经开区的智能传感产业发展，蚌埠经开区管委会主任陶广生如数家珍。他认为，这一切都离不开蚌埠在产业发展上的专“芯”。

今年3月1日，《蚌埠市促进智能传感产业发展条例》正式施行。陶广生表示，这是全国首部关于智能传感产业的促进型立法，从技术攻关到成果转化，从人才引育到要素保障，用法治给企业吃下“定心丸”。

今年大会期间，蚌埠又发布了首轮MEMS工程流片券政策。企业最高可按其流片费用的50%获得补助，每家企业每年最高可领500万元。

一项项真金白银的措施，让越来越多的智能传感企业选择蚌埠、扎根蚌埠。今年大会期间，总协议金额45.8亿元的20个智能传感项目集中签约。

淮水奔流，“芯”光熠熠。当一枚枚“蚌埠芯”在毫厘之间感知世界，淮河畔这座“传感谷”，也正让世界重新感知一座老工业基地的新生。(张磊、周坤、陶涛、苗子健)